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四探针电阻仪

ResMap Four Point Probe

 

型号:美国CDE ResMap 178

技术参数:

﹡测量尺寸:2~8寸晶圆

﹡测量速度:大于49/分钟

﹡测量范围:1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1

﹡测量重复性:≤±0.02%

﹡精确度:0.1%

 

Model: CDE ResMap 178

Technical Parameters:

Wafer size: 2~8 inch wafer

Measurement speed: 49 points/min or better

Measurement range: 1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1

Repeatability: ≤±0.02%

Accuracy: 0.1%


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